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Salle Blanche

  • Infrastructure technique

    • Ensemble de distributeur des gaz pursdistribution gaz: Ar, O2, H2, N2/H2, CHF3, SF6, SiH4
      + infrastructure prévue pour gaz supplémentaires : SiH2Cl2, NH3, PH3)
    • 1 centrale de stockage d'azote liquide
    • 2 systèmes de détection de gaz toxiques complémentaires
    • 1 centrale de production d'eau désionisée 18 MOhm.cm
    • 1 centrale de distribution d'eau de refroidissement
    • 2 centrale de traitement d'air et de climatisation des salles blanches
    • 1 compresseur d'air
    • 2 pompes à vide de service
    • 1 système de détection d'incendie (détecteurs de fumée, extincteurs)